当然了，这些光刻机大部分都已经破旧不堪，还有很多也其他智能设备爆炸时波及到。

不过机师如此，还是有七八台光刻机完好无损的保留了下来，至于那些被损坏的光刻机，虽然无法修复了，但是有些零部件却依然有用。

而有了这些零部件，机器人自然也是放心大胆的开始拆卸研究光刻机。

这些智能机器人的学习速度是十分恐怖的，再加上又在主世界买了一些生产设备，所以区区一个光刻机，在半年不到的时间内便已经突破到1纳米。

可不仅仅是一个光刻机啊，而是整个核心设备在内！

光刻机一共包含了九大核心设备。

【氧化扩散机】，【薄膜沉积设备】，【光刻机】，【涂胶显影机】，【刻蚀机】，【离子注入机】，【cmp抛光设备】，【检测设备】，总共是八大设备。

另外还有一个【清洗机】，贯穿多个工序，不清洗是没办法进入下一环节的，因此总共是九大核心设备。

这九大高精尖设备组合在一起彼此配合，才能组成一个完整的生产线，然后才能生产出一颗小小的芯片。

少了其中一个，你整个生产线都得瘫痪。

而实际上很多人不知道的是，华夏在氧化扩散机，薄膜沉积设备，涂胶显影机，刻蚀机，离子注入机，cmp抛光设备以及清洗机等八大核心设备里面，都已经占据了一定的市场份额。

尤其是刻蚀机，已经达到国际一流水平，可以生产出5nm技术等级的刻蚀机，生产公司是中微半导体。

而目前中微半导体的5nm级别刻蚀机已经卖掉了50多台，甚至成为了目前最先进5nm芯片生产线台积电的设备供应商。

但是没用。